- esmo semicon
- »
- HANDLING-SYSTEME
- »
- talos – optionale Funktionsmodule
- »
- Air-Dryer-Unit
Air-Dryer-Unit
zur Verhinderung der Vereisung von Kühler/Wärmetauscher bei Kalttest-Verfahren sowie für die Kammerspülung (für den Fall, dass keine Trockenluftzufuhr vorgesehen ist)
Beschreibung
- Taupunkt: -60 °C
- vollständig in den Handler integriert
- nahezu wartungsfrei